电子级氢氟酸的应用 多氟多成功打入台积电供应链，国产电子级氢氟酸进入国际一流水平

多氟多成功打入台积电供应链，国产电子级氢氟酸进入国际一流水平

近日，国产高纯电子化学品材料龙头厂商多氟多新材料股份有限公司（以下简称“多氟多”）发布公告，宣布公司在经过台积电（南京）有限公司南京工厂（以下简称“台积电南京厂”）现场审核和多轮上线测试后，目前正式进入台积电合格供应商体系，并于近期开始向台积电南京厂批量交付高纯电子化学品材料。据了解，此次多氟多打入台积电供应链的材料为高纯电子级氢氟酸。

什么是电子级氢氟酸

高纯电子化学品又称湿电子化学品，品种类繁多，比如氢氟酸、光刻胶、氟化聚酰胺等，应用广泛，是微电子、光电子湿法工艺制程中使用的各种电子化工材料。超净高纯试剂一般要求尘埃颗粒粒径控制在 0.5µm 以下，杂质含量低于ppm 级（10-6 为 ppm，10-9 为 ppb，是 10-12为 ppt）的化学试剂，是化学试剂中对颗粒粒径控制、杂质含量要求最高的试剂。目前广泛运用于半导体、太阳能硅片、LED 和平板显示等电子元器件的清洗和蚀刻等工艺环节。

电子级氢氟酸是高纯电子化学品当中的一种，主要用于去除氧化物，在半导体、太阳能光伏板和液晶显示器制造过程当中被大量使用。其中，半导体制造是电子级氢氟酸的最大应用市场，约占氢氟酸总消耗量47.3%。

在半导体制造过程中，电子级氢氟酸主要用于晶圆表面清洗、芯片加工过程的清洗和腐蚀等。资料显示，在半导体制程中，有50多个环节需要使用高纯度电子氟化氢，足见其重要性。不过，相对于其他领域的应用来说，半导体制造对于电子级氢氟酸的品质和纯度要求也更高。

国产电子级氢氟酸已进入国际一流水平

据多氟多董事长李世江介绍说，多氟多在超净高纯电子化学品的研发生产过程中，突破了工艺技术、分析检测技术、超净化处理技术、包装容器的清洗技术及标准化技术等关键技术，所生产的电子级氢氟酸品质达到UP-SSS级（G5级别），产品纯度达到PPT级，是目前半导体用电子级氢氟酸的最高级别，能够满足目前最先进工艺制程对材料的要求，处于国际一流水平。

而根据国际半导体设备与材料组织（SEMI）成立的 SEMI 化学试剂标准委员会，对世界湿电子化学品的等级的标准划分来看，主要划分为 SEMI G1 至 SEMI G5级。

在各应用领域的产品标准有所不同，光伏一般只需要 G1 级水平；显示面板和 LED 对湿电子化学品的等级要求一般为 G2、G3 水平；半导体制造对湿电子化学品的纯度要求较高，基本集中在 G3以上水平，晶圆尺寸越大对纯度要求越高，12 英寸晶圆制造一般要求 G4 以上，即G5级；分立器件对湿电子化学品纯度的要求低于芯片制造，基本集中在 G2级。

据不完全统计，我国电子级氢氟酸生产厂家有11家左右，但是能够达到半导体所用G4级及以上的企业仅多氟多、中巨芯（原巨化股份）、滨化股份、兴发集团四家左右。而能够供应12英寸晶圆使用需求的超净高纯电子级氢氟酸，即G5级别（UP-SSS）电子级氢氟酸的，目前似乎只有多氟多一家。

鉴于全球晶圆代工龙头台积电对于材料的严格要求，此次多氟多成功打入台积电南京12英寸晶圆厂（主要生产16/12nm制程芯片）的G5级电子级氢氟酸产品已达到了国际一流水平。

日本厂商占据垄断地位

国产厂商把握机遇，开拓海内外市场

在全球氢氟酸市场中，日本企业居于绝对主导地位，瑞星化工（Stella Chemifa）、大金、森田化学三家日本企业合计市场份额超过90%。

在2019年7月，日本政府还曾凭借其在半导体材料领域的强势地位对韩国进行制裁，限制向韩国出口三种关键半导体材料，其中就包括用于半导体制造过程中所需的电子级氢氟酸。一时间使得使得韩国半导体产业受到沉重打击，三星、SK海力士等韩国半导体制造大厂急的如“热锅上的蚂蚁”，急忙寻找替代供应商。此举也直接推动了国产电子级氢氟酸供应商进入韩国市场。

资料显示，中国拥有较为丰富的氟化氢产能。目前，多氟多、中巨芯（原巨化股份）、滨化股份、兴发集团等企业目前均具备生产半导体制造所需的电子级氟化氢的能力。中国作为当时的氟化氢的净出口国，也随着日本对韩国禁售电子级氟化氢事件的发酵，进一步增强了国产电子级氟化氢厂商的生产能力，强化国际市场地位。

据了解，日本限制对韩国出口电子级氢氟酸的当月，滨化集团的电子级氢氟酸就已成功拿到部分韩国半导体厂商的批量订单。多氟多在此事件之后，也凭借过硬的产品质量和稳定的供应量，顺利通过审核，将其电子级氢氟酸出口到了韩国12英寸高端半导体企业，成功跻身全球高纯电子化学品材料供应链。

此外，得益于近年来国家对于半导体产业的重视和扶持，以及中美贸易战及科技战背景之下的国产半导体产业链的自主可控与国产替代需求，也推动了电子级氢氟酸的国产化。

多氟多董事长李世江表示，高端半导体市场长期以来被国外企业所垄断，我国半导体产业发展的关键设备和八成以上的关键原材料长期依赖进口，严重影响了我国半导体产业的健康有序发展。自2015年开始，多氟多以半导体市场8英寸客户为起点，不断创新发展，开发出具有独立知识产权的电子级化学品生产新工艺，开拓新市场，以电子级氢氟酸为代表的高纯电子化学品接连取得重要突破，并逐渐被国内国外的半导体龙头企业所认可和使用。

据介绍，多氟多深耕高端氟化工材料生产技术10余年，立足全球电子化学品市场，产品质量和管理水平已获得德州仪器、韩国三星、长鑫存储等大型半导体企业认可，打入了美韩等跨国半导体公司的供应链，同时大批量供应国内多条8英寸和12英寸半导体芯片产线。近期成功进入台积电这样一流的芯片制造企业，更是证明了多氟多在行业内的认可度和影响力正在不断地巩固和提高。

据李世江介绍，因为台积电对于供应商的审查非常严格，为此多氟多高度重视、充分准备，成立了总经理挂帅的审核工作推进领导小组统筹具体工作，严格按照台积电的要求对整个体系进行完善提升。审核一共分为三个阶段，分别是文件审核、现场稽核、产品验证。最终，多氟多经过了两年多的时间完成了整个审核过程，依靠过硬的技术、创新的成果及稳定的品质通过了台积电的验证，成功成为台积电合格供应商并开始批量供货。

值得一提的是，除了电子级氢氟酸这类的湿电子级化学品之外，多氟多在干电子化学品上同样成绩斐然，多氟多的子公司——中宁硅业的高纯硅烷、乙硅烷、高纯四氟化硅、纳米硅粉等产品已进入国内知名半导体企业供应链。

在产能方面，多氟多目前在河南的电子级氢氟酸工厂年产能为5万吨（含IC级1万吨）。另外，在多氟多2021年定增11.5亿元募投项目中显示，多氟多正在建设年产3万吨超净高纯电子级氢氟酸、年产3万吨超净高纯湿电子化学品、100吨高纯乙硅烷、100吨高纯氟氮混合气、300吨高纯四氟化硅等项目。这些项目将于今年下半年陆续建成投产，并根据市场情况逐步释放产能，以更好地满足半导体产业对电子化学品持续增长的需求。

编辑：芯智讯-浪客剑

氢氟酸价格逼近历史高位 多氟多电子级氢氟酸销售收入同比大幅增长

萤石价格持续突破历史新高，使得下游氟化工行业不断受益。今年9月下旬以来，国内氢氟酸价格受原材料价格上行影响接连上涨，目前已逼近1.5万元/吨大关的历史高位。而作为高端氢氟酸产品，电子级氢氟酸的价格更加不菲。

作为电子级氢氟酸国内领先的生产商，多氟多(002407)2018年也在该领域获得迅猛发展。证券时报·e公司记者获悉，今年9月起，多氟多半导体用电子级氢氟酸发货量已迎来爆发式增长。

氢氟酸价格逼近历史高位

“2018年9月下旬至11月中下旬，国内氢氟酸价格持续上行，从每吨1.07万元左右，上涨到1.47万元上下，涨幅达到40%。”谈及近期国内氢氟酸市场情况，生意社分析师陈玲介绍称，今年2月，国内氢氟酸价格达到1.54万元/吨，是监测以来历史新高。此后，该产品价格一度下行，达到9000元/吨左右，但随着原材料萤石价格走强，氢氟酸高价再起。

她表示，目前有些地方厂家氢氟酸报价已突破1.5万元/吨大关，大部分厂家报价在1.45万元至1.5万元左右。刺激本轮价格上行的最重要因素，就是萤石价格持续突破历史新高。

据悉，目前国内萤石市场均价已达到3500元/吨，有些地方报价达到3700元/吨，而在年初，萤石的市场价格仅为2500元/吨左右。近几个月以来，萤石价格正逐步刷新历史高点。多氟多副董事长李云峰此前接受记者采访时曾表示，在五六年前，国内萤石价格曾一度大幅走高，不过彼时高点也就达到2800元/吨。如今高价位下，市场依然供不应求，公司需货到结款，否则下一批货可能就没有着落。

除萤石高价外，氢氟酸价格走强也与原材料硫酸价格居高不下有关，不过陈玲认为，冬季北方地区限产，也是导致商品涨价的重要推手。

她表示，目前受关闭限产影响，国内氢氟酸行业的开工率不足60%。同时，供暖季北方地区用气受到限制。为保障居民取暖，工业用气已被大量缩减。近期北方多地持续雾霾预警，部分企业也处于停工或产能减半的情况。虽然目前氢氟酸价格高位下，上涨动能已经减弱，下游接受乏力，但12月由于萤石产能受限，也不存在价格下行的空间。

李云峰也曾表示，虽然萤石价格已处于相对高位，但北方萤石矿山多数即将进入冬季停产状态，加之9、10月份下游企业传统冬储加大需求，市场供不应求的情况将愈加凸显。

作为高纯度的氢氟酸产品，电子级氢氟酸市场供应更加紧俏。

近期有韩媒ET News引述业界消息，指日本政府当局最近对部分外销南韩的氢氟酸拒绝发给许可。消息指出，某家日本从事氢氟酸外销的企业，最近无法获得日本政府的放行，这家企业的氢氟酸主要供应三星、SK海力士等南韩半导体制造商。供给日益吃紧的氢氟酸，价格甚至已喊涨50%。

多氟多销售额激增

作为氟化工行业的龙头企业，多氟多在2012年开始了对电子级氢氟酸的布局。

电子级氢氟酸是应用于集成电路 （IC）和超大规模集成电路（VLSI）芯片制作过程的高端化工材料之一。2017年之前，国内芯片行业所用的电子级氢氟酸几乎全靠从日本、美国、欧洲、台湾等国家和地区进口。其市场化应用门槛极高，新入行的国内企业开发一个客户的周期长达数年。而多氟多以工业无水氢氟酸为原料，开发了电子级氢氟酸新工艺，2013年建立了万级清洗、千级灌装、百级分析室、电子级自动灌装线，制程设计为全球最高端纯化工艺UPSS级，产品纯度达到PPT级。全球具备最高品质电子级氢氟酸生产线的企业屈指可数，多氟多是国内第一家。

“刚开始时做这个产品时，多氟多的电子氢氟酸多供往光伏行业，等于高配卖了低价，基本不挣钱。但从2018年下半年开始，多氟多电子级氢氟酸逐步进入多家全球领先半导体企业供应链。9月起更是国外订单激增，价格高启，出口量呈爆发式增长。”李云峰介绍，如今，多氟多电子级氢氟酸已成功进入美国、韩国等全球领先的半导体跨国公司供应链。2018年下半年开始，已有60%的产品销往国外半导体厂商。从9月开始，电子级氢氟酸发货量更是迎来爆发式增长，产品销售收入和毛利率也获得大幅提升。

由于电子级氢氟酸超高的技术门槛和测试周期长等特质，导致这一行业市场进入难度大。多氟多成功进入供应链体系后，面临的竞争对手也寥寥无几。

据介绍，目前欧洲、北美、东南亚等半导体企业已开始寻求与多氟多的合作，目前已有20多批次样品已发往国外进行测试，评价良好，商务谈判正在进行。同时，有了国外企业的示范效应，国内很多硅片制造商、芯片企业也开始使用多氟多的电子级氢氟酸，国内市场也进入迅速扩张阶段。

打造集成电路上游供应链体系

电子级氢氟酸的超高毛利润，正成为多氟多继六氟磷酸锂之后，打造的又一利润增长点。

李云峰表示，2018年，国内高端半导体用高纯电子级氢氟酸国内市场需求为1万吨，而全球需求将达到9.5万吨。根据预测，国内需求将会在三年内翻倍，全球需求量将以每年20%以上的速度稳步增长。

市场整体容量不断提升的同时，国内氢氟酸市场还存在大量进口替代的空间。

据海关数据统计，2017年我国进口高端半导体用高纯电子级氢氟酸8638.98吨，进口价格在16.9元-27元/公斤不等。目前，国产电子级氢氟酸用量只占到国内需求的不足5%，仍几乎完全依赖进口。

鼓励和支持高端电子级氢氟酸产品进口替代，也是国家政策指引的方向。多氟多凭借高端电子级氢氟酸产品项目，此前已获得工信部给予的产业调整振兴项目扶持资金1039万元。

“目前多氟多一个月的电子氢氟酸供应量有500吨左右，计划今年再扩产一条年产5000吨电子氢氟酸生产线，预计2019年产能扩大到1万吨以上，下一步还会继续扩产。”李云峰表示，2018年4月，多氟多并购了浙江中宁硅业，将为公司深度布局半导体行业提供强大助力。中宁硅业拥有国际上先进的硅烷法工艺，主打产品硅烷和多晶硅在2011年已做到了电子级，产品用于半导体、液晶面板和光伏行业，产品质量达到国外同等水平。该公司年产多晶硅3000吨、高纯硅烷4000吨，电子特种气体有60多种。多氟多与中宁硅业将形成河南焦作本部湿电子化学品和浙江衢州干电子化学品两个生产基地。

而除年产1万吨吨电子级氢氟酸生产线之外，多氟多目前在建的年产3万吨半导体用电子级硫酸生产线预计2019年12月投产，量产后将替代进口。同时，多氟多还在研发和建设电子级硝酸、电子级氨水、电子级氟化铵等项目，不断延伸集成电路上游产品的供应链体系。

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